| No. | 発明名称 | 出願日 | 公報番号 | 出願人 |
| 1 | 投影露光装置、及び該装置の調整方法 | 1983.12.19 | 特開平7-321031 | （株）ニコン |
| 2 | 感光基板の露光装置 | 1984.11.26 | 特開平5-3142 | （株）ニコン |
| 3 | 露光方法 | 1993.03.03 | 特開平6-260391 | （株）ニコン |
| 4 | 露光方法 | 1993.03.03 | 特開2000-3871 | （株）ニコン |
| 5 | 走査露光方法、走査型露光方法、及び前記方法を用いるデバイス製造方法 | 1993.03.03 | 特開2000-3870 | （株）ニコン |
| 6 | 走査露光方法、走査型露光方法、及び前記方法を用いるデバイス製造方法 | 1993.03.03 | 特開2000-3869 | （株）ニコン |
| 7 | 走査露光方法、走査型露光方法、及び前記方法を用いるデバイス製造方法 | 1993.03.03 | 特開2000-3868 | （株）ニコン |
| 8 | アライメント方法 | 1993.04.13 | 特開平6-302495 | （株）ニコン |
| 9 | 投影露光装置 | 1995.05.19 | 特開平8-316123 | （株）ニコン |
| 10 | 投影露光装置 | 1995.07.11 | 特開平9-26554 | （株）ニコン |
| 11 | 投影露光装置 | 1995.08.07 | 特開平9-50952 | （株）ニコン |
| 12 | 投影露光装置 | 1995.08.09 | 特開平9-50954 | （株）ニコン |
| 13 | 投影露光装置 | 1995.09.12 | 特開平9-82601 | （株）ニコン |
| 14 | 投影露光装置及び該装置を使用した露光方法 | 1997.05.15 | 特開平10-321498 | （株）ニコン |
| 15 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | 1998.11.24 | 特開平11-224854 | （株）ニコン |
| 16 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | 1998.11.24 | WO99-027569 | （株）ニコン |
| 17 | 投影露光方法及び装置 | 1998.12.10 | WO99-031717 | （株）ニコン |
| 18 | 投影露光装置 | 2008.08.07 | 特開2010-39347 | （株）目白プレシジョン |
| 19 | 投影露光装置 | 2008.10.08 | 特開2010-93056 | （株）目白プレシジョン |
| 20 | 投影露光装置のアライメント方法 | 2009.04.07 | 特開2010-243823 | （株）目白プレシジョン |
| 21 | 基板パターンの製造方法及び露光装置 | 2010.12.24 | 特開2012-133280 | （株）目白プレシジョン |
| 22 | 三次元デバイスの製造方法 | 2011.03.02 | 特開2012-181415 | （株）目白プレシジョン |
| 23 | アライナ装置 | 2011.06.01 | 特開2012-253143 | （株）目白プレシジョン |
| 24 | 露光装置、露光方法及びマイクロデバイス | 2012.09.25 | 特開2014-66818 | （株）目白プレシジョン |
| 25 | 露光装置 | 2017.11.16 | 特開2019-90961 | リバーエレテック（株） |